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企知道科创赋能中鼎联盛以超纯水技术创新领跑半导体装备国产替代赛道

来源:米兰体育app安装    发布时间:2025-10-23 09:56:26

详细信息

  近日,专注半导体工业高端超纯水设备系统研发的高新技术企业 —— 中鼎联盛科技有限公司(以下简称 “中鼎联盛”)正式签约入驻企知道科创平台,在深化半导体超纯水装备技术创新、拓展产业生态合作上迈出关键一步。作为国家级高新技术企业,中鼎联盛深耕半导体超纯水装备领域13年,持续聚焦“14nm及以下先进制程高精度用水”核心需求,目前已成为国内半导体高端超纯水设备系统细分赛道的核心供应商。2024年,企业主导产品“半导体工业高端超纯水设备系统”国内市场占有率已超过10%,在本土同类企业中稳居前列,为半导体关键用水装备国产化提供核心支撑。

  中鼎联盛成立于 2011 年,扎根 “集成电路及专用设备集群” 核心区域,始终专注半导体工业高端超纯水设备系统的研发、生产与服务。产品通过精准控制水质电阻率(稳定≥18.24MΩ・cm)、颗粒含量(≥0.1μm ≤1个/mL),为光刻、刻蚀、薄膜沉积等半导体先进制程工序提供高稳定用水保障,是半导体制造产业链上游关键装备供应商。公司现已通过 ISO9001质量管理体系认证,凭借严苛的品质管控与技术实力,先后获评“国家级高新技术企业”“江苏省创新型中小企业”等荣誉,树立起半导体超纯水装备领域的品质标杆。

  在技术攻坚上,中鼎联盛围绕 “水质精准控制、多工艺动态适配、极端工况稳定” 三大核心目标实现突破:一是研发 “高精度水质传感+机器视觉颗粒识别”耦合技术,实时捕捉水中微颗粒,保障电阻率长期稳定,破解多工艺段用水参数波动痛点;二是构建 “制备-输送-监测闭环系统+自适应管路”,结合PLC智能控制算法,多工艺切换响应时间<5s,适配 14nm及以下先进制程,攻克了传统系统动态适配滞后难题;三是开发“动态过滤调控+惰性气体保护腔体”,优化换热器翅片结构,低温工况结霜率降低90%,有效解决了水质长期稳定性不足问题,并且温湿度协同控制精度也远超行业平均水平。

  为持续强化技术壁垒,中鼎联盛深化产学研合作,依托企业研发中心与苏州科技大学建立紧密协同机制,联合开展“半导体工业高端超纯水设备系统设计与研发”项目。苏州科技大学研发通过高精度水质传感集成模块与自适应输送管路,保障参数稳定;采用机器视觉+激光识别与闭环系统,解决用水波动;中鼎联盛则聚焦核心模块量产转化,将合作研发的水质传感模块、自适应输送组件快速落地生产,实现技术向产品的高效转化。

  依托技术创新,中鼎联盛成功打破日本栗田工业(ULTRA PURE 系列)等国际巨头的市场主导格局。公司产品在水质稳定性、多工艺适配性等关键指标上达到国际领先水平,而采购成本仅为进口设备的70%-80%,大幅度降低了国内半导体企业研发与生产所带来的成本。截至目前,中鼎联盛的核心技术已转化为 30 项知识产权,其中2项为发明专利、16 项实用新型专利、12项软件著作权,所有知识产权均深度应用于核心产品。公司现在已经成为厦门云天等头部半导体企业的“国产替代首选方案”,填补了国内 14nm及以下制程高端超纯水设备系统自主可控的技术空白。

  随着半导体制程向7nm及更先进节点迭代,核心工序对超纯水的纯度、稳定性需求愈发严苛。为加速数字化转型,强化科学技术创新与成果转化能力,中鼎联盛签约入驻企知道科创平台。

  此次合作,中鼎联盛将依托科创空间“资源对接+技术赋能”解决方案,精准对接高校专家和半导体产业创新成果,打通“核心模块研发-整机测试-量产适配”创新链条,加速多应力耦合调控、数字孪生水质监测等新技术落地;同时借助平台产业链图谱与招投标动态功能,深入挖掘长三角、珠三角等半导体产业核心区的潜在客户与优质供应商,提升公司拓客效率,逐步扩大市场占有率与品牌影响力。

  展望未来,中鼎联盛将继续深耕半导体工业高端超纯水设备系统核心技术领域,重点拓展 7nm制程用水适配、氢氟酸体系超纯水处理等新场景,推动设备向“更高纯度、更快响应、更低碳耗”三大方向升级。同时,公司将以技术与市场双重优势,为下游半导体公司可以提供高性价比用水装备,推动半导体产业向高端化、自主化转型,助力中国半导体超纯水装备在全球竞争中占据核心位置。

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